產品名稱：HMDS真空幹燥箱（高真空幹燥箱）

產品型（xíng）號

BPZ-6060MS

BPZ-6090MS

BPZ-6060HV

BPZ-6090HV

產品（pǐn）特點

用（yòng）途概述：

HMDS真空幹燥箱用於半導（dǎo）體晶圓在（zài）進行HMDS預處（chù）理工藝中（zhōng）的幹燥，通過程序設定，使抽真空-通氮氣-抽真空-等實現自（zì）動控製，自動（dòng）實現HMDS預處（chù）理工藝過程，用於光刻過（guò）程的塗膠工藝；

高真空（kōng）幹燥箱可在潔淨環境下使用，滿足（zú）潔（jié）淨環境下的高真（zhēn）空，無塵生（shēng）產工藝，半導體晶圓生產工藝車間使用，用於半導體、電子、醫療衛生、儀器儀表等領域的無氧化幹燥工藝；

產品特點
● 采用智能觸摸屏控（kòng）製，溫度、真空度、時間等（děng）直接設定，菜單式操作，操（cāo）作維護方便（biàn）；
● 工作室采用316不鏽鋼，更好耐酸堿腐（fǔ）蝕，確（què）保產品經久耐用（yòng），便於清潔；
● 長方形真空（kōng）室，使有效容積（jī）大，能充分利用空間；
● 彈性雙層鋼化玻璃門觀察工作室內（nèi）物體，一目了然；
● 箱門閉合鬆緊（jǐn）可（kě）調節，整體成型的合成矽橡（xiàng）膠門封圈，確保箱內高真空度（dù）；
● 增（zēng）設超溫保護溫控口，有效的（de）防止溫度失控等安全問題；（選（xuǎn）配）
● 低噪聲專（zhuān）業真空泵，真空控製穩定可靠；（HMDS真（zhēn）空幹燥箱）
● 采（cǎi）用內膽加熱，箱體內無任何電子元器件，無汙染，不易（yì）被腐蝕，使用更加安（ān）全；
● 采用超高真空泵，能夠保證箱體內真空度達1.0×10-4Pa；(高真空幹（gàn）燥箱)
程序控製
● 程序控製操作，可根據工藝需求設定加熱、真空度設定、通氮、時間等參數實現自動程序（xù）控製，確保每批次烘烤一致性（xìng），降（jiàng）低產品（pǐn）的烘烤差異性；
● 具有485通訊（xùn）接口，可以通過外置軟件程序實施查看設（shè）備運行狀況和程序運行狀況，保證設備一直運（yùn）行在監控當中；
技術（shù）參數

技（jì）術指標\型號	HMDS真空幹燥		高真空幹燥（zào）箱
	BPZ-6060MS	BPZ-6090MS	BPZ-6060HV	BPZ-6090HV
電源電壓	AC220V 50HZ		AC220V 50HZ
輸入功率	3000W	3500W	3000W	3500W
控溫範圍	RT+10~250℃		RT+10~200℃
溫度分（fèn）辨率/波動度	0.1℃ /±1℃		0.1℃ /±1℃
達到真空度	100Pa		1.0×10-4Pa極（jí）限真空度
真空度顯示	電子式真（zhēn）空度顯示（shì）		電子式真空度顯示
工作環境溫度	＋5～40℃		＋5～40℃
內膽尺寸(mm)W×D×H	400×400×400	450×450×450	400×400×400	450×450×450
外形尺寸(mm)W×D×H	600×570×1390	610×590×1350	600×570×1390	610×590×1350
擱板	2塊		2塊（kuài）
加熱方（fāng）式	內膽加熱		內膽加熱
工作室材料	316不鏽鋼（gāng）		316不鏽鋼

※性能參數測試在空載條件下為：環境溫（wēn）度20℃，環境濕度50%RH

注：外殼可定製為304不（bú）鏽鋼材質

選購件：（增加選（xuǎn）購件交貨期7天）

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